多机冷水机组更灵活 冷水机组如果要求较大的制冷量，不宜选用单机，宜采用多机制，电机宜用变频调速，以降低起动功率。多机可以灵活使用，不至于出现“大马拉小车”的浪费能源现象。
空调机房宜在洁净室侧面 空调机房的位置，其位置宜在洁净室的侧面，这不但可以节能，也有利于风道的布置，并使气流组织更加合理，同时，可以节省工程费用。
喷淋系统非常的重要，对于消防来说可以很大程度上防止火热的扩散，达到灭火的目的，尤其是厂房，电子洁净厂房是否需要设置喷淋呢？电子洁净厂房依照建规要求，应布局喷淋系统软件，但是喷淋标准上，并沒有确立这类工业厂房的火灾事故危险等级，一般是不可以设喷淋的，但里边设消防栓，工业厂房假如只能一部分是生产线，则洁净区和非洁净区消防栓不的同用，非洁净区设喷淋。
洁净厂房是我国的耗能大户之一。据不完好统计，洁净室的能耗是普通写字楼的10~3O倍。我国的8英寸芯片厂，洁净室单位面积能耗比美国同类型工厂高15%（美国耗能1.28kw/m2~2.63kW/m2,而中国耗能1.48kW/m2~1.93kW/m2）。以上海某名芯片厂为例，其全年耗电量的51%是用于洁净室运转及相关的维护，假设将这51%的能耗合理降低，对企业来说就意味着利润的增长。
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