自控装置保证全程调节 目前,有的生产厂家采用手动方式进行控制风量和风压的调节,但由于控制风量和风压的调节阀均在技术隔层,而且吊顶也都是彩钢板的软吊顶,基本上都是在安装调试时调好,此后,大都没再调节过,实际上也无法调节。为确保洁净厂房的正常生产和工作,应设置一套较完整的自控装置,实现以下功能:洁净室空气洁净度、温湿度、压差监控、风阀调节;高纯气体、纯水和循环冷却水的温度、压力、流量的检测;气体纯度、纯水水质的监测等。
因此,洁净室下游相关行业企业越来越注重洁净室的节能问题。这就恳求洁净室工程行业企业,从客户需求动身,从设计理念、建造施工、设备配备及运转等各个方面中止节能设计,只需采取多方位的节能技术,整个洁净室行业才干持续、良性展开。更有甚者用于某一工序的各种工艺材料(化学品、特种气体等)在很多情况下其微量的分子剩余对下一工序常常可能就是污染物。因此,IC消费过程中的某些加工工序及工序问的材料传送和存放环境中,AMC已成为严重影响废品率的重要问题,AMC分子控制技术成为洁净室设计与施工树立的主流趋向。目前,国内的洁净室工程行业企业中曾经开端从事此方向的研讨。
在地质上应避开断层、流砂,选择地质构造稳定(解释:稳固安定;没有变动)、土层密实、地下水位变化较小的地区。合理利用地形、地貌,例如利用河流、地面高差等自然条件,减少环境振动对厂区及洁净车间的影响。洁净车间选址应采用先进的测量仪器(appliance),它应具有良好的频响、高灵敏度(Sensitivity)及信噪比,在工程建设中必须坚持采用实地测试(TestMeasure)、分析(Analyse)比较的方法选择理想的厂址,切忌未经测试分析而由行政部门主观规定。