对于其他产生灰尘的房间,业主购买的设备几乎达到无尘生产水平,粉尘只有在排放时才会逸出。在此基础上,根据设备的形状,在设备的出风口采用活动除尘罩。当没有材料时,房间可以返回空气,大大节省能源消耗。根据以往的设计原则,部分排尘设备在生产中一直处于开放状态,在生产过程中只需间歇开、停,造成了大量的能耗。但是,如果停止运行,整个房间的排气量会大大减少,导致房间的静压上升,供气量也会减少,通风的次数会减少,甚至同一系统相邻房间的压差也会被破坏。
以对防微振及洁净生产(Produce)环境有严格要求的惯导实验(experiment)室为例,贯导实验(experiment)室的场地应避开如沿海地区、地振活动频繁地区、断层地带、雷雨及龙卷凤区、飞机飞行区、公路干线、铁路沿线、大型河流及湖泊区、城市工业区及人口密集区、常年冰冻区、矿区、森林区。可以根据这些原则,在较大的地域范围初选,再在初选分析对比的基础上进行精选,直至终确定。对于集成电路工厂的建设,其微振动测试尤为重要。根据集成电路工业洁净车间的特点,其振动测试根据工厂建设的建设阶段,一般分四次进行。
净化车间(洁净室)的净化原理:
气流→初效空气处理→空气调节→中效空气处理→风机加压送风→净化送风管道→有效送风口→洁净室→带走尘埃(细菌)→回风夹道→新风、初效空气处理。
重复以上过程,即可达到净化目的。
技术参数:
换气次数:十万级15-20次小时;万级20-30次小时;千级50-55次小时;
百级操作台断面风速0.25-0.35m/s;
压差:主车间对相邻洁净房间≥5Pa;洁净房间对非洁净区≥10Pa;
温度:17℃-26℃;相对湿度:45-75%(RH);
噪声≤65dB(A);
新风补充量:总送风量的20%-30%;
照度:≥300Lux。