云南忠盛净化工程有限公司

空气分子污染AMC作为IC工厂关心的问题于20年前先由日本人提出，近年来，世界Ic卡技术展开疾速，IC芯片日益微型化，目前曾经有赢径为0.4lilln的世界小的非接触型无线射频识别芯片。AMC对当前的IC消费其潜在的污染比粒子污染要普遍多，粒子污染控制只需求肯定粒径及个数，但对AMC控制而言，除了受芯片线宽的减少而变化外，并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送系统等的影响。

在地质上应避开断层、流砂，选择地质构造稳定（解释:稳固安定；没有变动)、土层密实、地下水位变化较小的地区。合理利用地形、地貌，例如利用河流、地面高差等自然条件，减少环境振动对厂区及洁净车间的影响。洁净车间选址应采用先进的测量仪器（appliance），它应具有良好的频响、高灵敏度(Sensitivity)及信噪比，在工程建设中必须坚持采用实地测试（TestMeasure)、分析(Analyse)比较的方法选择理想的厂址，切忌未经测试分析而由行政部门主观规定。

　车间内除精密(precise)设备外，其他空调系统、动力系统等设备和工艺附属设备都已联机调试或进行试运转时，对精密设备安装位置的环境振动测试。调查了解该位置的环境振动是否满足精密设备的振动安装条件要求，为精密设备是否进一步采取隔振措施（指针对问题的解决办法)提供依据。精密设备安装完毕，进行试生产时，终对整个生产线验证。用以保证产品的可靠性。环境振动的物理量，应根据精密设备对物理量的要求相应确定，不外乎是振动加速度、振动速度及振动位移，一般情况下，对采集得到的数据（data)需进行时域及频域分析。