弯管的中心曲率半径应大于矩形风管的边长,圆形则采用1.25倍直径。大断面风管应在管内加导流片,以减少阻力。而在实际安装施工中,较少如此处理。对于变径管,不可突然变径,宜作成渐扩(缩)管,渐扩管每边扩展角应大于15°,渐缩管则每边收缩角不大于30°。矩形风管的三通要顺气流弯管弯曲分流,支管也应有一定的曲率半径。若要90°角分流,则应在弯头内加导流片。
空气分子污染AMC作为IC工厂关心的问题于20年前先由日本人提出,近年来,世界Ic卡技术展开疾速,IC芯片日益微型化,目前曾经有赢径为0.4lilln的世界小的非接触型无线射频识别芯片。AMC对当前的IC消费其潜在的污染比粒子污染要普遍多,粒子污染控制只需求肯定粒径及个数,但对AMC控制而言,除了受芯片线宽的减少而变化外,并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送系统等的影响。
洁净厂房的竣工验收合格,并经核实批准后,按要求进行功能验收,功能验收是在“静态”进行测试,其主要测试内容如下:
1.检测空气洁净度等级;
2.生产工艺有要求者,还应进行微生物测试或化学污染物测试或特殊表面的洁净度测试;
3.洁净室(区)的温度、相对湿度的稳定性测试;
4.检测自净时间;
5.检测洁净室(区)的密闭性测试;
6.测定照度;
7.测定噪声级;
8.需要时,确认和记录气流形式和换气次数;
9.其他需要进行的其他检测项目。